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基于夏克哈特曼波前传感器的拼接检测系统

基本信息

申请号 CN202120422814.X 申请日 -
公开（公告）号 CN214502843U 公开（公告）日 2021-10-26
申请公布号 CN214502843U 申请公布日 2021-10-26
分类号 G01M11/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张斌;彭新雨 申请（专利权）人 茂莱（南京）仪器有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） 代理人 李倩
地址 211102江苏省南京市江宁经济技术开发区铺岗街398号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于夏克哈特曼波前传感器的拼接检测系统，包括沿光路传播方向依次设置的激光器、空间滤波器、分光棱镜、准直透镜组、标准反射镜，所述激光器发出的激光通过分光棱镜转折90度后进入准直透镜，波前传感器与准直透镜分别设置在分光棱镜的两侧，将波前传感器与电脑连接，所述分光棱镜与波前传感器之间设置有中继镜，所述波前传感器采用夏克哈特曼波前传感器。本实用新型利用波前传感器采集光信号，通过用小孔径的光学检测系统多次测试大口径的被测系统的不同区域，将不同区域的小口径拼接成大口径，实现全区域的检测，不仅提高了整个检测系统的精度，同时降低检测成本。