一种基于六轴六足位移台的主次镜调节装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种基于六轴六足位移台的主次镜调节装置

基本信息

申请号	CN202122061098.X	申请日	-
公开（公告）号	CN215813570U	公开（公告）日	2022-02-11
申请公布号	CN215813570U	申请公布日	2022-02-11
分类号	G02B27/62（2006.01）I;G02B7/182（2021.01）I;G02B7/198（2021.01）I	分类	光学;
发明人	田骏	申请（专利权）人	茂莱（南京）仪器有限公司
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	李倩
地址	211102江苏省南京市江宁经济技术开发区铺岗街398号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种基于六轴六足位移台的主次镜调节装置，包括用于调节主镜和次镜相对位置的第二调节机构；第二调节机构包括干涉仪、六轴六足位移台、倾斜俯仰调节架I、倾斜俯仰调节架II和平面参考镜，干涉仪位于主镜组件前侧，主镜组件固定于倾斜俯仰调节架I上，在主镜组件前侧安装次镜支架；六轴六足位移台的移动端与装有次镜的镜座连接，镜座通过六轴六足位移台移动，移动后镜座与次镜支架固连；平面参考镜位于主镜组件的后侧，平面参考镜固定于倾斜俯仰调节架II上。采用本实用新型调节装置使主镜和次镜的相对位置固定有效增强了光学系统的稳定性；并且本实用新型调节装置采用六轴六足位移台对次镜和主镜的相对位置进行调节，能够达到次镜轴向位置在±5um，轴向倾斜角度在20″以内的精度。