一种晶圆检测方法及检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202111616331.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113990770B | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN113990770B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘秀梅;罗招龙;赵广;洪银 | 申请（专利权）人 | 晶芯成（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 王积毅 |
| 地址 | 102199北京市大兴区经济技术开发区科创十三街29号院一区2号楼13层1302-C54 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种晶圆检测方法及检测装置，包括：形成晶圆测试图形。根据晶圆测试图形的设计规则，形成测试光罩。根据测试光罩形成测试模板，以模拟待测晶圆图形。根据测试模板，以筛选待测晶圆图形中的有效图形。选择有效图形中的有效数据，以建立光学临近效应校正模型。以及根据光学临近效应校正模型，对晶圆进行图形检测。本发明提出的晶圆检测方法及检测装置，提高了检测效率。 |
