硅棒处理系统

基本信息

申请号 CN202111358337.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113793822A 公开(公告)日 2021-12-14
申请公布号 CN113793822A 申请公布日 2021-12-14
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B24B19/22(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 郭世锋;王勇;吕清乐;徐公志 申请(专利权)人 乐山高测新能源科技有限公司
代理机构 北京科慧致远知识产权代理有限公司 代理人 王乾旭;赵红凯
地址 614000四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号101幢1-2层
法律状态 -

摘要

摘要 本申请实施例提供了一种硅棒处理系统,包括:并排设置的硅棒切割子系统和方棒磨削子系统,其中,所述硅棒切割子系统用于对硅棒进行切割形成方棒,所述方棒磨削子系统用于对方棒进行磨削形成磨削后的成品方棒;系统内传输装置,设置在所述硅棒切割子系统和方棒磨削子系统的一侧;其中,所述系统内传输装置用于运动到所述硅棒切割子系统将切割后的方棒取下,且将切割后的方棒带到所述方棒磨削子系统处。本申请实施例的硅棒处理系统,采用一个部件即系统内传输装置,既能从硅棒切割子系统取下切割后的方棒,又能将切割后的方棒传输到方棒磨削子系统,使得硅棒处理系统结构部件较少,结构简单,占用空间小。