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微流体流量计及其制作方法

基本信息

申请号 2017112595308 申请日 -
公开（公告）号 CN109870205B 公开（公告）日 2019-06-11
申请公布号 CN109870205B 申请公布日 2019-06-11
分类号 G01F1/684(2006.01)I;G01F1/696(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 刘德盟;关一民;张华 申请（专利权）人 上海傲睿科技有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 罗泳文
地址 201800上海市嘉定区城北路235号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明还提供一种微流体流量计及其制作方法，包括：半导体衬底，具有第一温度传感器、第二温度传感器、加热单元及信号处理电路，其中，第一温度传感器与第二温度传感器设置于加热单元两侧；微通道，通过第一温度传感器、加热单元及第二温度传感器；以及空腔，形成于半导体衬底背面且与加热单元位置对应。本发明可以实现微流控系统的微流体流量的片上检测，实现传感器、信号处理电路以及微流道的全集成设计，增加了微流控芯片的集成度。本发明的微流体流量计可以完成微流道流体流向和流速的测量，空腔可以防止热量通过硅衬底流失，增加流速检测的灵敏度。本发明采用共模负反馈的电路结构设计增加传感器的一致性，并降低噪声。