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膜片截止阀及其制造方法

基本信息

申请号 CN201611195610.7 申请日 -
公开（公告）号 CN108217576B 公开（公告）日 2020-05-22
申请公布号 CN108217576B 申请公布日 2020-05-22
分类号 B81B7/02;B81C1/00 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 张华;关一民 申请（专利权）人 上海傲睿科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 上海傲睿科技有限公司;上海新微技术研发中心有限公司
地址 201800 上海市嘉定区城北路235号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种膜片截止阀及其制造方法，属于膜片截止阀技术领域，为解决现有结构体积过大等问题而设计。本发明膜片截止阀包括进液口、进液流道、出液口、可动膜片、基底和气体捕捉与释放结构；进液口和出液口位于同一个进液空腔内；可动膜片、基底、以及气体捕捉与释放结构围拢成封闭的气体空腔，气体空腔内包含与气体捕捉与释放结构相匹配的气体成分。本发明膜片截止阀及其制造方法实现了膜片截止阀的小型化，便于集成设计片上流体控制系统，可以实现全系统集成，适用于MEMS微流体领域；该膜片截止阀的结构可以兼容驱动热泵的结构，从而可以有效地集成到一个系统内部。