真空配管阱装置、真空配管阱系统以及配管清理方法
基本信息
| 申请号 | CN201910857270.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110960931B | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN110960931B | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | B01D46/00（2006.01）I;B01D46/26（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 堀冈佑吉;初春 | 申请（专利权）人 | 河南一轮电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京庚致知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李伟波;李永虎 |
| 地址 | 450003河南省郑州市经三路15号C1301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及的真空配管阱装置、真空配管阱系统以及配管清理方法能够防止粉尘爆炸，同时高效地捕集氧化硅粉尘，并降低清理作业所需要的精力或时间。真空配管阱系统（9）具备：上框体（21）；下框体（22），其与该上框体（21）能够分离地连结，收纳捕集由于单晶生长而产生的粉尘的捕集筒（29）；以及旋转过滤器（70），其收纳在所述捕集筒（29）内，其中，通过圆筒（66）和条状的多个阻燃性叶片过滤器（BF）来构成该旋转过滤器（70），圆筒（66）枢设在捕集筒（29）的底部，条状的多个阻燃性叶片过滤器（BF）被配设成从该圆筒（66）的周面沿着径向延伸。 |
