一种气体置换控制系统
基本信息
| 申请号 | CN202023281421.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214496472U | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN214496472U | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李发忠;于金凤;王和风 | 申请（专利权）人 | 安徽中飞科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;黄诗彬 |
| 地址 | 239000安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及气体控制技术领域，公开了一种气体置换控制系统，包括钢瓶及反应炉，所述钢瓶通过第一连接管路与所述反应炉连接，所述第一连接管路上设置有第一手动阀；还包括电动三通阀。当所述电动三通阀处于第一工作状态时，所述第一气口与所述第二气口连通，所述第一气口与所述第三气口断开，以使第一连接管路内的气体依次沿所述第二连接管路及所述排气管路排出；当所述电动三通阀处于第二工作状态时，所述第一气口与所述第二气口断开，所述第一气口与所述第三气口连通，以使惰性气体依次沿所述进气管路及所述第二连接管路进入所述第一连接管路内。 |
