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硒化锌的生长方法

基本信息

申请号	CN202011041984.X	申请日	-
公开（公告）号	CN112095150B	公开（公告）日	2022-02-22
申请公布号	CN112095150B	申请公布日	2022-02-22
分类号	C30B29/48（2006.01）I;C30B28/14（2006.01）I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	于金凤;朱刘	申请（专利权）人	安徽中飞科技有限公司
代理机构	北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张向琨
地址	239000 安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号
法律状态	-

摘要

本公开提供了一种硒化锌的生长方法包含步骤：a.将锌置于化学气相沉积炉中的坩埚中，氩气置换沉积炉中的空气，抽真空，真空度为3000Pa‑10000Pa；b.将化学气相沉积炉中的沉积腔室升温至沉积温度700℃‑800℃，将坩埚升温至蒸发温度650℃‑700℃；c.分别向坩埚、沉积腔室中通气进行硒化锌的气相沉积反应，将氩气通入到坩埚中，将氩气和硒化氢通入到沉积腔室中，使得硒化锌的沉积速率为50‑150μm/h；d.反应结束后，维持与沉积过程中相同的压力和气体流量，将沉积腔室继续升温50℃‑170℃，进行首次恒温，之后降温至500℃‑650℃的范围，进行再次恒温，然后降至室温，得到硒化锌产品。本公开提供的硒化锌的生长方法可以生产大尺寸、加厚尺寸、高光学性能的多晶硒化锌材料。