一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN202011645398.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112853312A | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN112853312A | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘羊;于金凤;王和风 | 申请（专利权）人 | 安徽中飞科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;朱燕华 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉，其中，所述方法包括在同一真空化学气相沉积炉内连续沉积ZnSe和ZnS，将装有固体锌料的坩埚加热至500～750℃，使锌升华产生锌蒸汽，然后将沉积室加热至650～800℃，通入硒化氢，开始沉积ZnSe，沉积完成后，停止通入硒化氢，沉积室降温至600～750℃，通入硫化氢气体，开始沉积ZnS，整个沉积过程载流气体的流量保持不变，沉积完成后进行升温退火处理，出炉即得ZnSe/ZnS红外复合材料。本发明有效缩短了ZnSe/ZnS红外复合材料的生产周期，简化了生产工艺，降低了生产成本。 |
