一种红外光学产品复合增透膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011644324.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112831769A | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN112831769A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | C23C16/02;C23C16/26;C23C16/32;G02B1/115 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李光存;于金凤;任丽;朱刘 | 申请（专利权）人 | 安徽中飞科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文 |
| 地址 | 511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种红外光学产品复合增透膜的制备方法，属于镀膜技术领域。本发明所述红外光学产品复合增透膜的制备方法通过ECR‑MPCVD法在硒化锌或硫化锌基材上进行DLC膜和GeC膜的交替沉积镀膜，不仅操作步骤简单可控，同时产品不会受到交叉污染，所得产品均匀致密，可满足红外光学镀膜所需增透量及厚度。本发明还公开了所述红外光学产品复合增透膜的制备方法制备得到的红外光学产品复合增透膜，该产品具有优异的折射率，符合实际需求的厚度，可实现8～12μm厚度的增透。 |
