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厚尺寸红外光学材料的制备方法

基本信息

申请号	CN202011583651.X	申请日	-
公开（公告）号	CN112813411A	公开（公告）日	2021-05-18
申请公布号	CN112813411A	申请公布日	2021-05-18
分类号	C23C16/30;C23C16/44;C23C16/56	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	刘羊;于金凤;王和风	申请（专利权）人	安徽中飞科技有限公司
代理机构	北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张向琨
地址	511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
法律状态	-

摘要

本公开提供了一种厚尺寸红外光学材料的制备方法。其包括骤：（S1）：以化学气相沉积法获得的红外光学材料为基板，研磨抛光；（S2）：对基板进行等离子清洗；（S3）：将基板放置于化学气相沉积炉的沉积室，向化学气相沉积炉中的坩埚内装入反应固体；（S4）：对化学气相沉积炉进行抽真空；（S5）：将沉积室温度缓慢升至600‑850℃之间；将坩埚的温度缓慢升至500‑800℃；（S6）：分别以反应固体的蒸气、反应气体为原料，以氩气作为反应固体的蒸气和反应气体的载气通入沉积室；（S7）：坩埚内的反应固体蒸发完毕，停止向沉积室通入反应气体，对沉积室和坩埚进行降温；（S8）：研磨抛光，然后放置于热等静压炉中，恒温恒压处理时间为40‑250h；（S9）：降温降压然后出炉。