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多晶硒化锌的制备方法

基本信息

申请号	CN202011566453.2	申请日	-
公开（公告）号	CN112795897A	公开（公告）日	2021-05-14
申请公布号	CN112795897A	申请公布日	2021-05-14
分类号	C23C16/30;C23C16/02	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	王和风;于金凤;刘羊	申请（专利权）人	安徽中飞科技有限公司
代理机构	北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张向琨
地址	511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
法律状态	-

摘要

本公开提供了一种多晶硒化锌的制备方法，其包括步骤：将厚度为30mm～50mm的多晶硒化锌片的表面进行处理，得到粗糙度小于Ra20的硒化锌抛光片，将硒化锌抛光片等离子清洗后置于石墨衬底上；步骤二，将锌料安装在坩埚内；步骤三，将石墨衬底沉积器安装在石墨坩埚上，再置于化学气相沉积真空炉内；步骤四，在室温下，化学气相沉积真空炉通氩气；步骤五，坩埚升温，石墨衬底沉积器升温；步骤六，锌开始蒸发，向石墨衬底沉积器内通入氩气携带的硒化氢气体，向坩埚内通入氩气；步骤七，锌蒸发完毕，停止通入硒化氢气体，坩埚降温，石墨衬底沉积器降温，出炉得到最终整体厚度为60mm～100mm的多晶硒化锌。本公开可以制备得到厚尺寸多晶硒化锌材料。