一种芯片生产用清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202120853288.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214683202U | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN214683202U | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 章圣武 | 申请（专利权）人 | 威海银创微电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陆婉 |
| 地址 | 264200山东省威海市环翠区嵩山路106-3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片生产用清洗装置，涉及芯片生产技术领域。本实用新型包括外盖、清洗装置、电机和排水口，所述外盖铰接于清洗装置的顶部，所述排水口嵌固于清洗装置的右侧，所述电机嵌固于清洗装置的底部，且电机的轴承贯穿延伸至清洗装置的内部，所述清洗装置包括转杆、套轴、清洗盒和振动机构，所述振动机构嵌固于电机的轴承顶部。本实用新型通过行星轮机构与振动件配合，使得转杆带动清洗盒转动的同时，还可以上下振动，提高了芯片的清洁效率，大大提高了清洗装置的实用性，通过弹性元件与压紧件配合，使得芯片的位置可以被固定，从而解决了清洗盒整体振动时，芯片之间发生振动，导致芯片损坏的问题。 |
