一种吸波材料粉体表面氧化物陶瓷涂层的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610665560.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106399968B | 公开（公告）日 | 2018-12-25 |
| 申请公布号 | CN106399968B | 申请公布日 | 2018-12-25 |
| 分类号 | C23C16/40;C23C16/455 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 解明 | 申请（专利权）人 | 武汉艾特米克超能新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华仲龙腾专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 武汉艾特米克超能新材料科技有限公司 |
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖高新区佳园路关东工业园7-5栋6178室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种吸波材料粉体表面氧化物陶瓷涂层的制备方法，包括以下步骤：将吸波材料粉体放入多孔的容器中；将多孔容器放入ALD反应室内，反复抽真空、置换氮气三次；对粉体在氮气或氩气的气氛下进行流化或者将多孔容器旋转达到粉末分散效果；根据沉积氧化物涂层的种类，选择反应前驱体，设置沉积工艺参数；在氮气或氩气携带下将前驱体蒸汽引入到ALD反应室中；用氮气或氩气吹扫反应室；在氮气或氩气携带下将氧源蒸汽引入到ALD反应室中；用氮气或氩气吹扫反应室；重复步骤，直至沉积到所需涂层厚度。本发明能够在吸波材料粉体表面制备出均匀、致密、杂质少、厚度可精确控制的氧化物陶瓷涂层，从而提升吸波材料粉体耐氧化和抗腐蚀。 |
