用于TO封装红外传感器的检漏方法

基本信息

申请号 CN202110386806.9 申请日 -
公开(公告)号 CN113092030A 公开(公告)日 2021-07-09
申请公布号 CN113092030A 申请公布日 2021-07-09
分类号 G01M3/20(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 张杰;何虎;许晴;于海洋;汪锐 申请(专利权)人 翼捷监测技术(苏州)有限公司
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁;郑暄
地址 215128江苏省苏州市苏州工业园区北榭雨街68号太阳星辰花园二区159幢108室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于TO封装红外传感器的检漏方法,包括以下步骤:(1)将封装好的红外传感器批量置入补氦装置中,先抽真空,再充入氦氮混合气,进行补氦;(2)对红外传感器进行分组,以分组的方式,在检漏装置中进行氦质谱检测,获得读数;当读数小于预设值时,判定为合格;当读数大于等于预设值时,判定为NG,并进入步骤(3);(3)对判定为NG的该组红外传感器,重复步骤(2),直至判定为NG的红外传感器组中红外传感器的总数量小于第一预设数量,对该组红外传感器进行二次封帽处理,并随下一批次产品进行检漏。本发明的检漏方法,能够检出微漏情况,提高检测效率。