单晶炉重锤及具有其的单晶炉

基本信息

申请号 CN201921071834.6 申请日 -
公开(公告)号 CN210341124U 公开(公告)日 2020-04-17
申请公布号 CN210341124U 申请公布日 2020-04-17
分类号 C30B29/06;C30B15/32 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 靳秋诚;关树军;陈辉 申请(专利权)人 北京天能运通晶体技术有限公司
代理机构 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 代理人 北京天能运通晶体技术有限公司
地址 100176 北京市大兴区经济开发区经海路科创十五街1号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种单晶炉重锤及具有其的单晶炉,其中单晶炉重锤包括重锤本体和夹持装置,夹持装置与重锤本体同轴设置,其中,夹持装置包括与重锤本体相连接的第一夹持件,第一夹持件的材质为非脆性材质,第一夹持件未与重锤本体相连接的一端具有卡孔,卡孔的内侧固定有用于夹持籽晶的第二夹持件;其中,卡孔的深度大于第二夹持件的长度,以使第二夹持件与重锤本体之间具有间隙。其有效提高了单晶炉重锤的可靠性,使得单晶生长过程的安全系数更高。