单晶炉炉体及具有其的单晶炉

基本信息

申请号 CN201921037493.0 申请日 -
公开(公告)号 CN210765578U 公开(公告)日 2020-06-16
申请公布号 CN210765578U 申请公布日 2020-06-16
分类号 C30B15/00(2006.01)I 分类 -
发明人 袁静;关树军;陈辉 申请(专利权)人 北京天能运通晶体技术有限公司
代理机构 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 代理人 陈佳妹;贾满意
地址 100176北京市大兴区经济开发区经海路科创十五街1号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种单晶炉炉体,包括相配合的底座和炉筒,其中,底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置,炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组,固定安装座的一端与底座的侧壁固定连接,固定安装座的另一端朝向炉筒设置,轴承组固定安装在固定安装座的另一端上,且轴承组中的轴承,适用于在炉筒接触到轴承的表面时转动,以对炉筒进行导向。在炉筒归位降落时,炉筒接触到炉筒导向装置后,炉筒导向装置中的轴承发生转动,炉筒在轴承的转动下被导向至正确位置。保证了炉筒归位时的位置精准度,并降低了归位降落时的操作难度。