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水冷热屏装置及具有其的单晶炉

基本信息

申请号 CN201921071816.8 申请日 -
公开（公告）号 CN210341123U 公开（公告）日 2020-04-17
申请公布号 CN210341123U 申请公布日 2020-04-17
分类号 C30B15/00;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 包娜娜;关树军;陈辉 申请（专利权）人 北京天能运通晶体技术有限公司
代理机构 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 代理人 陈佳妹;贾满意
地址 100176 北京市大兴区经济开发区经海路科创十五街1号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种水冷热屏装置及具有其的单晶炉，水冷热屏装置包括进水管、出水管、水冷热屏本体、第一承重块组和第二承重块组；第一承重块组包括用于悬挂单晶炉的第一热场装置的第一承重块和第二承重块；第一承重块固定安装在进水管邻近水冷热屏本体一侧的管面上，第二承重块固定安装在出水管邻近水冷热屏本体一侧的管面上；第二承重块组包括用于悬挂单晶炉的第二热场装置的第三承重块和第四承重块；第三承重块位于第一承重块上，并与第一承重块可拆卸连接；第四承重块位于第二承重块上，并与第二承重块可拆卸连接。通过第一承重块组悬挂安装第一热场装置，第二承重块组悬挂安装第二热场装置，有效提高了水冷热屏装置的灵活性。