抽气管道及具有其的单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201921000004.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210341122U | 公开（公告）日 | 2020-04-17 |
| 申请公布号 | CN210341122U | 申请公布日 | 2020-04-17 |
| 分类号 | C30B15/00;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吴天舒;关树军;陈辉 | 申请（专利权）人 | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
| 地址 | 100176 北京市大兴区经济开发区经海路科创十五街1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种抽气管道及具有其的单晶炉，其中抽气管道包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀。其中，清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封清洁管路的第一开口，燃烧阀固定安装在清洁管路的管壁上，且邻近清洁口封盖，燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启清洁口封盖之前打开，以使清洁管路的内腔与外部连通。通过提前开启燃烧阀使粉尘状氧化物先与外部少量空气中氧气充分燃烧，有效防止了清理抽气管道时产生的爆燃现象，大大提高了抽气管道清洁工作的安全性。 |
