进料装置及具有其的单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201921101362.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210765580U | 公开（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申请公布号 | CN210765580U | 申请公布日 | 2020-06-16 |
| 分类号 | C30B15/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 魏松涛;关树军;陈辉 | 申请（专利权）人 | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济开发区经海路科创十五街1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种进料装置及具有其的单晶炉，包括包裹体和引导体，包裹体的一侧与引导体的一侧固定连接，其中，包裹体和引导体均为中空结构，且包裹体与引导体连通，包裹体围设在用于输送硅散料的进料管的外围，并包裹进料管的出口，引导体未与包裹体相连接的一侧延伸至晶体生长设备的加料位置，以使进料管输送硅散料的过程中，硅散料沿引导体的内腔垂落至所述加料位置。通过在进料管外围围设进料装置，硅散料在进料过程中可沿进料装置内壁顺利垂落至指定加料位置，实现可靠的补充加料，避免了硅散料的飞溅浪费，保证了设备的安全，同时增加了产能。 |
