一种纳米硅激光气相合成系统
基本信息
| 申请号 | CN201820811085.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208554140U | 公开（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申请公布号 | CN208554140U | 申请公布日 | 2019-03-01 |
| 分类号 | B01J19/12（2006.01）I; C01B33/027（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 李学耕; 刘芳; 戎俊梅 | 申请（专利权）人 | 普尼太阳能（杭州）有限公司 |
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 普尼太阳能（杭州）有限公司 |
| 地址 | 310051 浙江省杭州市滨江区西兴街道滨文路9-1号2幢1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种纳米硅激光气相合成系统，包括：反应腔；激光器，设置于反应腔的一端，产生的激光通过反应腔入口射入到反应腔内；硅烷气瓶，所述硅烷气瓶内盛有硅烷，硅烷通过管道通入反应腔内；束缚氮气瓶，所述束缚氮气瓶内装有用于为硅烷提供束缚保护作用的氮气，该氮气通过管道通入反应腔内；混合气瓶，所述混合气瓶内盛有氮气和氢气，该氮气和氢气通过管道通入反应腔内；硅粉收集器，设置于反应腔的下端，用于收集反应腔内产生的纳米硅颗粒；真空抽取子系统，与反应腔连接，用于抽取反应腔内的气体，是反应腔内呈现真空状态。该系统能够制备得到粒子大小可控、无粘连、粒度分布均匀的纳米硅颗粒。 |
