一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法
基本信息
| 申请号 | CN202011120297.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112509805A | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN112509805A | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | H01F41/18(2006.01)I;H01F41/22(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐秀兰;于广华;冯春 | 申请（专利权）人 | 山东麦格智芯机电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京市广友专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 张仲波 |
| 地址 | 255400山东省淄博市临淄区齐都镇齐都路52号505室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种优化钴基磁性薄膜电感材料磁性能的方法，属于信息存储及电感技术领域。本发明技术方案通过将沉积完毕后的样品在真空环境下，进行适当温度的热处理，诱发其界面结构的改变。通过界面处的Co‑O轨道杂化强弱来调节铁磁/非磁(Co基软磁材料/MO)界面处的轨道结构，得到有益的、适度的Co‑O轨道杂化状态，进而调控铁磁薄膜材料磁性能，具有工艺简单、控制方便、效率高、成本低等优点，适合应用于未来信息存储和电感技术中。 |
