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超高反常霍尔灵敏度薄膜材料、制备方法、磁传感器及元件

基本信息

申请号 CN201510052492.3 申请日 -
公开（公告）号 CN104600193B 公开（公告）日 2017-07-04
申请公布号 CN104600193B 申请公布日 2017-07-04
分类号 H01L43/10;H01L43/06;H01L43/14 分类 基本电气元件;
发明人 于广华;陈喜;于泠然;张静言 申请（专利权）人 山东麦格智芯机电科技有限公司
代理机构 北京市广友专利事务所有限责任公司 代理人 于广华;北京麦格纳材科技有限公司
地址 255400 山东省淄博市临淄区齐都镇齐都路52号505室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种超高反常霍尔灵敏度薄膜材料、制备方法、磁传感器及元件，所述超高反常霍尔灵敏度薄膜材料包括：第一Ta层，所述第一Ta层上方设置有CoxFey层，所述CoxFey层上方设置有金属氧化层，所述金属氧化层上方设置有第二Ta层，其中，0＜x＜100，x为整数，0＜y＜100，y为整数。本发明通过设置第一Ta层、CoxFey层、金属氧化层和第二Ta层，易于界面轨道杂化调控各向异性场；又由于CoxFey层中的Co和Fe原子比例可调，可进一步调控各向异性场，从而有效提高反常霍尔灵敏度。