一种探针调节座
基本信息
| 申请号 | CN202022301220.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213749965U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213749965U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨应俊;颜建武;王胜利 | 申请（专利权）人 | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518172广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种探针调节座。所述探针调节座包括，旋转电机，及连接于所述旋转电机的偏心部，旋转电机驱动偏心部旋转；偏心部设置有输出轴，偏心部的旋转轴线相对于输出轴轴线偏移距离为d；安装部，旋转电机安装于安装部；探针连接部通过第一线性运动部连接于安装部，使探针连接部能够相对于安装部沿第一方向运动；线性驱动部通过第二线性运动部连接于探针连接部，使线性驱动部能够相对于探针连接部沿第二方向运动；所述线性驱动部沿同时平行于第一方向和第二方向的平面转动连接于偏心部输出轴。 |
