一种调节针座及探针台
基本信息
| 申请号 | CN202022300805.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213457024U | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN213457024U | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杨应俊;颜建武;王胜利 | 申请（专利权）人 | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518172广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种调节针座及探针台。一种调节针座，旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；吹气部安装于机架，且吹气部的气嘴朝向滚轮，气嘴喷出的气体使探针安装部沿直线导轨限定的方向通过滚轮止抵于凸轮。提升凸轮与滚轮接触的稳定性，提升凸轮驱动探针安装部运动的位置精度。 |
