一种调节针座及探针台

基本信息

申请号 CN202022301040.3 申请日 -
公开(公告)号 CN213749964U 公开(公告)日 2021-07-20
申请公布号 CN213749964U 申请公布日 2021-07-20
分类号 G01R1/04(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 杨应俊;颜建武;王胜利 申请(专利权)人 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518172广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种调节针座及探针台。所述调节针座包括:安装于机架的旋转电机;连接于旋转电机的凸轮,旋转电机驱动凸轮旋转;直线运动连接于机架的针座安装部枢接有滚轮,所述针座安装部安装有测试探针;安装于机架的气缸作用于针座安装部;在气缸作用下,所述滚轮止抵于凸轮;以及应用于所述调节针座的探针台。用气缸作用于针座安装部,从而保证凸轮与滚轮始终接触,使凸轮的旋转角度与针座安装部沿直线运动的位置相对应,从而使针座安装部上的测试探针位置准确可靠。