一种硅片搬运机构及探针台
基本信息
| 申请号 | CN202023007903.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752668U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752668U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 林生财;曾凡贵;刘振辉;王胜利 | 申请（专利权）人 | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518172广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片搬运机构及探针台。一种硅片搬运机构包括,第一吸附部；设置于第一吸附部、两端分别连通第一伯努利吸盘和第二伯努利吸盘的第一导气通道；所述第一导气通道的等距中心连通于第一供气通道；以及应用所述硅片搬运机构的探针台。首先启动的第一伯努利吸盘和第二伯努利吸盘气压同步且稳定，从而增强硅片搬运机构工作的稳定性，降低硅片因受力不均引起损坏的风险。 |
