一种用于纳米薄膜沉积的液相基板火焰合成装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN201711467766.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108149229B | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN108149229B | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | C23C18/12 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭耸;齐秀生;张琳;黄晏峰;余亮;赵安文;高尚 | 申请（专利权）人 | 江苏中安信达科技咨询有限公司 |
| 代理机构 | 南京理工大学专利中心 | 代理人 | 南京理工大学 |
| 地址 | 210094 江苏省南京市孝陵卫200号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于纳米薄膜沉积的液相基板火焰合成装置和方法，属于纳米及超细材料制备领域。该装置包括燃烧系统和液相基板沉积系统。该方法是通过火焰合成方法生长的纳米颗粒在液体表面进行沉积，液面的柔性使得颗粒沉积过程在二维方向进行，进而使得生长的单个颗粒可及时分散开来，降低了颗粒的团聚程度，形成单分散性较好，薄膜厚度可控，密度均匀的纳米薄膜，通过升降台将附着板升起，使得薄膜在表面张力作用下附着在多孔板上，将纳米膜置于烘箱烘干，即可得到致密薄膜。本发明不仅可以使得制备的纳米材料粒径分布更加均匀，还可以提高材料制备效率，适用于大规模生产各种氧化物薄膜，如二氧化钛、氧化铝以及氧化铜等薄膜材料。 |
