氯硅烷净化装置
基本信息
| 申请号 | CN201921540381.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210933859U | 公开（公告）日 | 2020-07-07 |
| 申请公布号 | CN210933859U | 申请公布日 | 2020-07-07 |
| 分类号 | B01D3/14(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 吴春蕾;段先健;王跃林 | 申请（专利权）人 | 广州汇富研究院有限公司 |
| 代理机构 | 广州广典知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 广州汇富研究院有限公司;宜昌汇富硅材料有限公司;湖北汇富纳米材料股份有限公司 |
| 地址 | 510000广东省广州市高新技术产业开发区科学城南翔三路15号实验楼508房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及氯硅烷的净化领域，公开了一种氯硅烷净化装置，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；所述汽化器设置有汽化腔和热工质通道，所述汽化腔与所述热工质通道相隔绝，所述汽化腔的进口和出口分别为所述原料进口和原料出口，所述热工质通道的进口和出口分别为所述热工质进口和热工质出口，所述残液排放口与所述汽化腔相通。净化提存氯硅烷原料。 |
