晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置
基本信息
| 申请号 | CN201921349072.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210650183U | 公开（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申请公布号 | CN210650183U | 申请公布日 | 2020-06-02 |
| 分类号 | B24B41/06(2012.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 张启兴 | 申请（专利权）人 | 浙江晶特光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王秋月 |
| 地址 | 318001浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号研发大楼301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置，涉及晶圆固定装置的技术领域，本实用新型提供的晶圆吸盘具有吸附端面；吸附端面凹陷形成镂空部和第一负压槽，镂空部与第一负压槽间隔设置；晶圆吸盘设有第一流体通道，且第一流体通道与第一负压槽流体连通；本实用新型提供的晶圆吸盘缓解了现有技术中晶圆吸盘对晶圆造成磨损的技术问题。 |
