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一种电容触摸屏镀膜工艺

基本信息

申请号	CN202010566654.6	申请日	-
公开（公告）号	CN111733384A	公开（公告）日	2020-10-02
申请公布号	CN111733384A	申请公布日	2020-10-02
分类号	C23C14/08(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	郭繁锐;梁锐生;郑仁华;邓青山;唐勇	申请（专利权）人	豪威星科薄膜视窗（深圳）有限公司
代理机构	深圳市深弘广联知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	向用秀
地址	518000广东省深圳市南山区西丽街道朗山二号路8号豪威大楼四楼D区
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种电容触摸屏镀膜工艺，涉及显示元件加工技术领域；电容触摸屏镀膜工艺包括以下步骤：基材处理；第一层靶材溅射，在所述基材上溅射TiOx靶材，以形成TiOx镀膜层；第一合金层溅射，在所述TiOx镀膜层上溅射Cu‑Ni靶材，形成第一Cu‑Ni合金镀膜层；Cu层镀膜溅射，在所述第一Cu‑Ni合金镀膜层上溅射Cu靶材，形成Cu层；第二合金层溅射，在所述Cu层上溅射Cu‑Ni靶材，形成第二Cu‑Ni合金镀膜层。本发明利用第一Cu‑Ni合金层对基材和Cu层进行二次衔接，通过Ni与其他材料的亲和特性，提升附着力；通过第一Cu‑Ni合金层对Cu层进行外层包覆，利用Cu‑Ni合金自身的抗氧化能力，防止产品氧化，提升产品的寿命。