制备AR膜的生产线
基本信息
| 申请号 | CN200710073630.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN100594256C | 公开（公告）日 | 2010-03-17 |
| 申请公布号 | CN100594256C | 申请公布日 | 2010-03-17 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 许生;徐升东;高文波;谭晓华;曹志刚;郭祖华;谢建军 | 申请（专利权）人 | 豪威星科薄膜视窗（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | 广东国晖律师事务所 | 代理人 | 深圳豪威真空光电子股份有限公司;深圳豪威科技集团股份有限公司;豪威星科薄膜视窗（深圳）有限公司 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区高新技术工业村北区2号路豪威大厦 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种制备AR膜的生产线，设有进出片真空室、过渡真空室、高真空室、镀膜真空室、折返前过渡真空室、折返真空室和设置在真空室内的基片架进、出片传送装置，其中在进出片真空室有进出片旋转门阀，在进出片真空室与过渡真空室之间、高真空室与镀膜室之间分别有高真空插板门阀，在各真空室的法兰上分别开有窄型法兰口；在所有镀膜真空室的进片传送装置与出片传送装置之间有带抽气口的防溅射隔板；在镀膜真空室上有两套柱状磁控溅射源；高真空室内有低温气体吸附冷板；在折返前过渡真空室有膜层质量在线检测仪器；进出片真空室和折返真空室分别连接有初抽真空泵组；高真空室、镀膜真空室、过渡真空室、折返真空室分别配置有分子泵。 |
