一种电容触摸屏镀膜工艺及触摸屏
基本信息
| 申请号 | CN202010364591.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111560586A | 公开（公告）日 | 2020-08-21 |
| 申请公布号 | CN111560586A | 申请公布日 | 2020-08-21 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 梁锐生;郭繁锐;郑仁华 | 申请（专利权）人 | 豪威星科薄膜视窗（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市深弘广联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 向用秀 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区西丽街道朗山二号路8号豪威大楼四楼D区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电容触摸屏镀膜工艺及触摸屏，涉及显示元件加工技术领域；触摸屏包括基层和通过靶材溅射依次敷设在所述基层上的ZrOx层、二氧化硅层和ITO层。本发明采用在线表面活性增强处理方式，创建结晶诱导层，采用ZrOx作为折射率匹配层的第一层，采用在线后离子源处理，激活与金属层接触的表面活性，有效改善传统ITO膜对于金属层的附着力，保证了屏幕性能。 |
