一种晶圆检测单镜头组件
基本信息
| 申请号 | CN202011477488.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112505872A | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN112505872A | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | G02B13/18(2006.01)I;G03B17/02(2021.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G02B7/02(2021.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 梅力;胡冬云 | 申请（专利权）人 | 江苏卓玉智能科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226300江苏省南通市高新技术产业开发区杏园路288号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆检测单镜头组件，包括安装座和连接座，安装座下端面开设安装孔，连接座通过装夹机构固定于安装孔内，连接座螺纹连接镜头套筒安装座，镜头套筒安装座上安装镜头套筒，镜头套筒上安装镜头，镜头一侧安装光源和喷吹装置，本发明结构设计新颖，便于镜头的拆卸安装和保养，另外，采用的镜头有效的矫正了像差，大大的提高了成像质量，且具有较大的视场角，提高了晶圆检测精度。 |
