一种晶圆检测双镜头模组
基本信息
| 申请号 | CN202011482902.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112485879A | 公开（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申请公布号 | CN112485879A | 申请公布日 | 2021-03-12 |
| 分类号 | G02B7/02(2021.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 梅力;胡冬云 | 申请（专利权）人 | 江苏卓玉智能科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226300江苏省南通市高新技术产业开发区杏园路288号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆检测双镜头模组，包括安装座、第一连接座和第二连接座，安装座下端面分别安装第一安装孔和第二安装孔，所述第一连接座、第二连接座分别通过装夹机构固定于第一安装孔和第二安装孔，第一连接座螺纹连接第一镜头套筒安装座，第一镜头套筒安装座上安装第一镜头套筒，第一镜头套筒上安装第一镜头，第二连接座螺纹连接第二镜头套筒安装座，第二镜头套筒安装座上安装第二镜头套筒，第二镜头套筒上安装第二镜头，本发明结构设计新颖，采用双镜头检测，能够提高检测精度，此外，双镜头便于拆装和保养，延长了其使用寿命。 |
