一种晶圆检测移动平台
基本信息
| 申请号 | CN202011482895.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112526311A | 公开（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申请公布号 | CN112526311A | 申请公布日 | 2021-03-19 |
| 分类号 | G01R31/26(2014.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 梅力;胡冬云 | 申请（专利权）人 | 江苏卓玉智能科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226300江苏省南通市高新技术产业开发区杏园路288号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆检测移动平台，包括底座和滑动座，所述底座上安装平行设置的第一滑轨和第二滑轨，底座上还安装第三滑轨，且第三滑轨设置于第一滑轨和第二滑轨之间，第一滑轨两端安装第一挡块，且第一滑轨端部与第一挡块之间通过第一锁紧螺栓固定，第二滑轨两端安装第二挡块，且第二滑轨端部与第二挡块之间通过第二锁紧螺栓固定，底座上方安装滑动座，本发明结构设计新颖，操作方便，能够实现对晶圆的前后和左右移动，能够提高晶圆检测效率。 |
