一种自支撑金刚石膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201510027177.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104561925A | 公开（公告）日 | 2015-04-29 |
| 申请公布号 | CN104561925A | 申请公布日 | 2015-04-29 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C30/00(2006.01)I;C23F1/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于盛旺;高洁;刘小萍;钟强;黑鸿君;申艳艳;贺志勇 | 申请（专利权）人 | 太原理工技术转移有限公司 |
| 代理机构 | 太原科卫专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 太原理工大学;太原理工技术转移有限公司;山西新碳超硬材料科技有限公司 |
| 地址 | 030024 山西省太原市迎泽西大街79号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种自支撑金刚石膜的制备方法，属于化学气相沉积金刚石膜技术领域。本发明方法首先在硅基片上表面及侧表面预沉积一层钛金属涂层，然后在含钛金属涂层的硅基片上表面再沉积一层钼金属涂层，再采用化学气相沉积方法在预沉积钛/钼复合金属涂层的硅基片上表面沉积金刚石膜，最后使用草酸溶液腐蚀样品得到自支撑金刚石膜并回收硅基片重复使用。与现有技术相比，本发明具有的优点有：金刚石膜形核快，能缩短沉积时间；硅片可以重复使用，能降低生产成本；能够避免常规酸腐蚀硅基片时造成的环境污染。 |
