一种高品质自支撑金刚石厚膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610069254.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105506576A | 公开（公告）日 | 2016-04-20 |
| 申请公布号 | CN105506576A | 申请公布日 | 2016-04-20 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/511(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 于盛旺;王荣;高洁;黑鸿君;张阿莉;刘小萍;贺志勇 | 申请（专利权）人 | 太原理工技术转移有限公司 |
| 代理机构 | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人 | 太原理工大学;太原理工技术转移有限公司;山西新碳超硬材料科技有限公司 |
| 地址 | 030024 山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高品质自支撑金刚石厚膜的制备方法，该方法包括：先使用化学气相沉积法制备厚度为0.5~0.7mm的高品质自支撑金刚石膜；然后研磨、抛光膜的形核面，去除残留的碳化物，将其作为基体，在形核面上制备厚度为1~3mm的高品质金刚石膜；在两次制备过程中，金刚石膜的厚度每增加50~100μm，减少甲烷流量，减少值为甲烷初始流量的0.5~1%。使用该方法制备的自支撑金刚石厚膜具有品质均匀性好、无裂纹、机械强度高等优点。 |
