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势垒增强同型异质结II类超晶格长/长波双色红外探测器

基本信息

申请号 CN202111275921.5 申请日 -
公开（公告）号 CN114068738A 公开（公告）日 2022-02-18
申请公布号 CN114068738A 申请公布日 2022-02-18
分类号 H01L31/0352（2006.01）I;H01L31/0304（2006.01）I;H01L31/101（2006.01）I;H01L31/103（2006.01）I;H01L31/11（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 徐志成;李光昊 申请（专利权）人 中科爱毕赛思（常州）光电科技有限公司
代理机构 南京钟山专利代理有限公司 代理人 李小静
地址 213030江苏省常州市新北区辽河路901号国家级企业孵化器D座1、2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种势垒增强同型异质结II类超晶格长/长波双色红外探测器，包括：在衬底上依次外延生长的缓冲层、P型第一欧姆接触层，P型第一长波吸收层、P型空穴势垒层、P型第二长波吸收层、P型第二欧姆接触层；P型第一长波吸收层以及P型第二长波吸收层分别与P型空穴势垒层形成同型掺杂异质结。本发明公开的结构通过偏压调制实现了在长波段的双色探测功能，结构简单；通过同型掺杂异质结和单势垒结构的引入，相较于传统NPPN结构的双色探测器，大幅降低了长波吸收区中的空间电场，有效抑制了吸收区中的产生‑复合暗电流和隧穿暗电流，提高了器件的信噪比和探测率。