一种日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201610953657.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106500967B | 公开（公告）日 | 2019-05-31 |
| 申请公布号 | CN106500967B | 申请公布日 | 2019-05-31 |
| 分类号 | G01M11/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 韦永林; 赛小锋; 田进寿; 卢裕; 王兴; 徐向晏; 刘虎林 | 申请（专利权）人 | 东莞市中科原子精密制造科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所;东莞市中科原子精密制造科技有限公司 |
| 地址 | 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种色差小、球差小、加工简单、易装调、结构紧凑、操作简单的日盲紫外像增强器空间分辨率测试装置，解决了现有装置球差较大，非球面镜加工、检验比较困难，系统装调难度较大的问题。测试装置包括依次设置的紫外光源、毛玻璃片、分辨率测试靶、第一平行光管、紫外窄带滤光片、光阑、第二平行光管、日盲紫外像增强器、显微镜，还包括管状壳体、支座、导轨和多维调节架；显微镜和日盲紫外像增强器设置于多维调节架上，多维调节架设置于支座上，支座设置于导轨上，用于支撑多维调节架、紫外光源的支座在导轨轴向移动。本发明主要用于日盲紫外像增强器的空间分辨率测试，同时还可以用于紫外条纹变像管等光电器件的空间分辨率测试。 |
