一种微通道板
基本信息
| 申请号 | CN202110556857.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113205996A | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN113205996A | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | H01J43/24;H01J9/12;C23C16/455;C23C16/40;C23C16/06 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张伟;朱香平;韦永林 | 申请（专利权）人 | 东莞市中科原子精密制造科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京尚伦律师事务所 | 代理人 | 赵昕 |
| 地址 | 523003 广东省东莞市松山湖园区学府路1号2栋524室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开是关于微通道板，属于光电技术领域。本发明提供的微通道板包括微通道板本体及设置在微通道板本体内壁的高阻薄膜；所述高阻薄膜具有由第1‑M薄膜层组成的层叠结构，每个薄膜层包括通过原子层沉积制成的第一材料层和通过原子层沉积于第一材料层上的第二材料层；所述微通道板本体内壁上为第1薄膜层的第一材料层，第i薄膜层的第一材料层沉积于第i‑1薄膜层的第二材料层上；所述高阻薄膜的厚度在预设厚度取值范围内；其中，第一材料为指定绝缘材料和指定导电材料中的任一种，第二材料为所述指定绝缘材料和指定导电材料中的另一种；i＝2,…M。本申请能够解决现有技术其副产物为有毒有害气体的问题。 |
