一种紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法
基本信息
| 申请号 | CN201310538853.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103779149B | 公开（公告）日 | 2016-06-08 |
| 申请公布号 | CN103779149B | 申请公布日 | 2016-06-08 |
| 分类号 | H01J9/02(2006.01)I;H01J9/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱香平;邓国宝 | 申请（专利权）人 | 东莞市中科原子精密制造科技有限公司 |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所;东莞市中科原子精密制造科技有限公司 |
| 地址 | 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种新的紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法，以克服传统机械加工技术难以达到交叉位敏阳极的精度，以及一般光刻技术无法精细的加工出上导电层及绝缘层的技术难题。本发明采用PCB加工技术，主要步骤有：预制光刻掩膜板、刻蚀阳极图案、模块键合、光刻掩膜板精确覆盖、飞秒激光切除绝缘材料、过孔沉铜接口连接。本发明加工精度高，工艺简洁，成品率高，成本低，能够大规模量产。 |
