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一种基于电学特性判断LED器件可靠性的系统及其方法

基本信息

申请号	CN201610031059.6	申请日	-
公开（公告）号	CN105676099B	公开（公告）日	2018-10-19
申请公布号	CN105676099B	申请公布日	2018-10-19
分类号	G01R31/26;G01R31/44	分类	测量；测试;
发明人	陈焕庭;何仲全;陈建顺;杨伟艺;张志鹏	申请（专利权）人	富顺光电科技股份有限公司
代理机构	福州君诚知识产权代理有限公司	代理人	富顺光电科技股份有限公司;漳州市卓富成智能科技有限公司
地址	363000 福建省漳州市龙文区蓝田工业开发区富顺光电科技园
法律状态	-

摘要

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基于电学特性判断LED器件可靠性的系统及其方法。由LCR采集模块分别采集标准LED样品和待测LED器件在不同负载下的电学信号，并由光电探测模块分别采集所述标准LED样品和待测LED器件在不同负载下的光学信号，控制处理模块接收的电学信号和光学信号，控制处理模块依照特定的数学模型分别建立标准LED样品以及待测LED器件的光强、负载电压、电导、电容、载流子浓度之间的定量关系，进而分别获得标准LED样品和待测LED器件的光学特性，并比较标准LED样品和待测LED器件的光学特性判断待测LED器件的可靠性。本发明可快速准确评测出LED产品的可靠性，便于改善LED制造过程中关键工艺以提高产品品质。