首页/ 武汉江丰电子材料有限公司/ 专利详情

一种靶材水道口防塌组件

基本信息

申请号 CN202121513372.6 申请日 -
公开（公告）号 CN215092855U 公开（公告）日 2021-12-10
申请公布号 CN215092855U 申请公布日 2021-12-10
分类号 B24B29/02（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 姚力军;潘杰;王学泽;李闯;范文新 申请（专利权）人 武汉江丰电子材料有限公司
代理机构 北京远智汇知识产权代理有限公司 代理人 王岩
地址 430042湖北省武汉市东西湖区柏泉茅庙集街43号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种靶材水道口防塌组件，包括第一组件和与之相配合的第二组件；所述第一组件依次分为A段、B段和C段；所述A段的长度＜所述C段的长度＜所述B段的长度；所述B段为弧形凹结构；所述第二组件为空心结构；所述第二组件的空心结构和所述第一组件过渡配合；所述A段的宽度＞所述B段的宽度＞所述C段的宽度。通过利用组件间的过渡配合，实现对水口孔道中不同位置进行不同膨胀配合保护，从而使得在抛光过程中孔道不会出现坍塌也不会出现由于加工过程中应力的形成所导致的侧壁鼓包等问题，从而提升靶材加工的成品率，避免因为水道口加工过程中造成的加工问题而导致的报废，显著降低企业的生产成本。