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一种大转角高频率一维电磁驱动微镜

基本信息

申请号 CN202020914189.6 申请日 -
公开（公告）号 CN212181160U 公开（公告）日 2020-12-18
申请公布号 CN212181160U 申请公布日 2020-12-18
分类号 G02B26/08 分类 光学;
发明人 余晖俊;沈文江 申请（专利权）人 中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司
代理机构 苏州思睿晶华知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司
地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园G2-1801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种大转角高频率一维电磁驱动微镜，包括驱动外框、驱动线圈、外框扭转轴、内部镜面和内部扭转轴；所述驱动线圈固定安装在驱动外框内部；所述外框扭转轴一端伸出驱动外框，另一端穿过驱动线圈向内延伸；所述外框扭转轴向内延伸端与内部扭转轴连接；所述内部镜面通过内部扭转轴安装在驱动外框内；所述外框扭转轴上设有驱动导线；所述驱动导线将驱动信号引入驱动线圈；所述驱动线圈控制内部扭转轴驱动使内部镜面发生偏转运动；本实用新型采用驱动外框与内部镜面分离的设计，驱动外框与内部镜面具有不同的工作频率，且内部镜面的内部扭转轴上没有驱动导线，实现了高频率大转角的扫描，提高了微镜的使用寿命。