一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机
基本信息
申请号 | CN202122870404.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216457908U | 公开(公告)日 | 2022-05-10 |
申请公布号 | CN216457908U | 申请公布日 | 2022-05-10 |
分类号 | B01D53/06(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 蔡鹏;洪布双;何飞 | 申请(专利权)人 | 江苏德润光电科技有限公司 |
代理机构 | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 225600江苏省扬州市高邮经济开发区凌波路 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了多晶硅片切片机技术领域的一种带有尾气净化功能的多晶硅片切片机,包括,基础组件,所述基础组件包括多晶硅片切片机主体;净化装置,所述净化装置包括筒体,所述外筒内活动设置有相配合的内筒,所述内筒和外筒的圆周外壁均匀开设有渗孔,所述内筒和外筒之间填充有活性炭颗粒。本实用新型设置有净化装置,在外筒和内筒之间设置有活性炭颗粒,在长期使用后,可通过拆除底部弧形封板,使得内部的活性炭颗粒向下排出,通过拆除顶部弧形封板,即可更换新的活性炭颗粒,大大降低人工劳动强度,提高工作效率。 |
