一种带有清洗装置的自动化硅片脱胶机
基本信息
| 申请号 | CN202111566588.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114345819A | 公开（公告）日 | 2022-04-15 |
| 申请公布号 | CN114345819A | 申请公布日 | 2022-04-15 |
| 分类号 | B08B3/10（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 蔡鹏;何飞;洪布双 | 申请（专利权）人 | 江苏德润光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京申云知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王世超 |
| 地址 | 225600江苏省扬州市高邮经济开发区凌波路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了脱胶机技术领域的一种带有清洗装置的自动化硅片脱胶机，包括脱胶机主体，脱胶机主体前侧壁开设有三组工作窗口，脱胶槽体内左右侧壁均设有加热板，脱胶槽体后侧壁设有循环过滤组件，脱胶槽体左侧壁设有安装架，安装架顶部设有安装板，绕线辊外壁套接设有绳索，绳索自由端连接设有连接绳,连接绳两端均设有挂钩，脱胶槽体上方设有放置架，放置架顶部前后两侧均铰接设有与挂钩相匹配的安装环，本发明设置多组转动的放置板，将硅片放置在放置板上，绳索带动放置架进入到脱胶槽体内，方便上下料，同时在多组放置板的作用下防止硅片在脱胶清洗时发生碰撞的效果，解决了现有的清洗篮在进行脱胶清洗时硅片易发生碰撞的问题。 |
