一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机
基本信息
| 申请号 | CN202111508517.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114178235A | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN114178235A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 何飞;洪布双;蔡鹏 | 申请（专利权）人 | 江苏德润光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京申云知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王世超 |
| 地址 | 225600江苏省扬州市高邮经济开发区凌波路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了硅片加工设备技术领域的一种带有废水收集装置的全自动硅片清洗机，包括，清洗箱，包括箱体，所述箱体前侧和底部均呈开口状，所述箱体两侧内壁的底部均设置有导轨，且两组所述导轨均与活动框滑动连接，所述活动框的中部均匀设置有安装板，且安装板的顶部均匀设置有放置座，所述箱体的前侧铰接有箱门，所述箱体两侧的中部均通过轴承转动连接有转轴，且两组所述转轴的相对侧均与喷淋盘连接，齿条可以带动齿轮做正反交替旋转，进而能够带动喷淋盘做正反交替摆动，从而可以对硅片进行多角度喷洗，清洗更加全面，且通过偏心轮和弹簧，使得电机带动偏心轮单向旋转即可带动喷淋盘正反交替摆动，降低了电机的能耗。 |
