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一种黑硅生产用涂层喷射装置

基本信息

申请号 CN201910220006.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111739977A 公开（公告）日 2020-10-02
申请公布号 CN111739977A 申请公布日 2020-10-02
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 -
发明人 何其金;张靖;何飞;沈鸿烈 申请（专利权）人 江苏德润光电科技有限公司
代理机构 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 艾秀丽
地址 225600江苏省扬州市高邮经济开发区凌波路
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及黑硅生产技术领域，且公开了一种黑硅生产用涂层喷射装置，包括两个支架板，两个所述支架板的底部均固定安装有两个稳固垫，两个所述支架板形成的夹缝处固定安装有稳固支架，两个所述支架板的顶部均固定安装有两个电动推杆，四个所述电动推杆的顶部均活动安装有与电动推杆相对应的电动延伸杆。该黑硅生产用涂层喷射装置，通过设置了运输滚轴，且运输滚轴的外表面套接有传送带，达到了通过动力电机的带动下，可带动传送带运行，带动待加工硅板进行均速移动的效果，通过设置了电动推杆，能够使顶座的高度便于根据加工需要进行调节，通过设置了喷射柱头，达到了喷射柱头可对传送带上的工件进行均匀喷涂的效果。